一文读懂xps测试原理

发布时间:2023-10-08来源:未知 编辑:admin

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  问题一:xps 的基本介绍、原理应用及分峰

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  1 简介

  XPS (X-ray Photoelectron Spectroscopy)又称ESCA (Electron Spectroscopy for Chemical Analysis), 能够分析出了氢,氦以外的所有元素。测定精确到0.1at%, 空间分辨率为100um, X-RAY的分析深度在1.5nm左右。

  XPS的样品一般是10mm*10mm*5mm, 也可以更小些。厚度不能超过5mm. 一般我的样品5mm*5mm*1mm. XPS分析室的真空度可以达到<10E-9 Pa, 因此样品要干燥,不能释放气体。xps的灵敏度很高,待测样品表面,绝对不能用手,手套接触。也不要清洗。

  对于非导体样品,由于表面电荷的累计,我们需要打开charge neutroliszer.

  2 原理

  这方面很多书上都介绍了,归根结底就是一个公式:

  E(b)= hv-E(k)-W

  E(b): 结合能(binding energy)

  hv: 光子能量 (photo energy)

  E(k): 电子的动能 (kinetic energy of the electron)

  W: 仪器的功函数(spectrometer work function)

  通过测量接收到的电子动能,就可以计算出元素的结合能。

  铝靶:hv=1486.6 eV

  镁靶:hv=1253.6 eV

  3 应用

  由于元素的结合能是唯一标识的,因而我们可以用xps作:

  (1)组成样品的元素的标定

  (2)各元素含量的计算

  (3)元素的侧向分布

  (4)化学态标定

  (5)测量超薄(小于5纳米)样品的厚度

  利用电子在不同材料的传播的平均自由程不同。

  除了基础知识之外,在实际运用中,还有许多东西需要我们去不断积累!其中“分析深度在1.5nm左右”,不一定吧?

  影响分析深度因素很多,简单,比如,射线的功率,分析的材质等。还有就是电子在材料中的平均自由程。总体而言,就是几个原子层大小。

  4、分峰

  我个人认为,对于xps的分峰,不像XRD那样有标准的数据库。关键的问题是,能用xps的结果来证明你自己的论点。

  比如说,物理沉积得到的TiN中的Ti, 目前有2大类分峰,一类认为由于Ti 有4价,因而, 要分8个峰(2p 1/2, 4个,2p 3/2 4个)。另一类认为, 只要分6个峰就可以即,Ti-N, Ti-O-N, Ti-O. 因为Ti 极易被氧化。

  所以,分峰方式的选择,主要是考虑解释你观察的现象。

  关于元素的binding energy, 我的做法是,查e-journal中相应元素的值,应该有一个整体范围。然后,你在这个范围内,选一个可以解释你的实验现象的位置就行了。

  XPS 的应用,还有很多问题。我曾经接触过得比如:作depth profile确定薄膜和基材界面的时候,界面的粗糙度对测定值的影响?还有,前一段时间看到帖子,讲xps可以测定晶粒的粒度。

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  问题二:哪里能进行XPS测试,而且能够接受外来样品?

  厦门大学、清华大学、吉林大学、天津大学、河南大学、四川大学和成都科分院、中科大、长沙中南大学粉冶所等等。

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  问题三:XPS结合能

  一种氧化物如CeO2在反应后Ce3d结合能增加,意味着什么?

  我知道如果向CeO2掺杂其他过渡金属等,由于相互作用会导致结合能增加,但是反应后(没有其它的产物生成)结合能增加,为什么了?能说明什么问题?跟催化剂失活有关?

  答:我对你的这个反应不是很清楚,只能简单地说说我的看法,反应后Ce3d结合能增加,肯定地说氧化物表面Ce的电子状态发生了变化,是否有高价态的Ce形成呢?反应后没有其它产物生成不知道是什么意思。你可以看一看O1s的XPS峰的情况。同催化剂失活的关系,我想主要还是要看催化剂的活性物种,Ce电子状态变化可能改变了催化剂的表面性质,影响催化剂表面的活性中心。失活的因素很多,要看哪一个是主要的。这是我的看法,也不一定合适。

  1)要确认是结合能增加,如对污染物C1s定标。(主要是确定有没有荷电问题!)

  2)如果确实有结合能增加的问题,主要有下面因素有关

  a)化学态的变化,此时表明Ce原子失去更多的电荷。

  b)局域点态的变化,可能与催化剂的表面形貌(几何结构等),表面污染物等因素有关。如果催化剂是纳米粒子i,可能与粒子的晶体结构(如趋向,相结构等)和大小的变化等有关。

  所以一定要确认是结合能确实变化了,再来分析其具体的原因。有时需要配合其它分析方法一起确认和分析。

  您有没有第二种因素造成结合能增加相关的具体资料,能不能提供一些,谢谢!!

  hanyu_cn提出的“同催化剂失活的关系,我想主要还是要看催化剂的活性物种,Ce电子状态变化可能改变了催化剂的表面性质,影响催化剂表面的活性中心”对我有很大的启发,我发现我的催化剂失活得真正原因在于催化剂表面性质发生了变化,由于吸附有大量反应过程中产生的副产物,堵塞了活性位,一直苦于没有直接的表征手段对其做出解释,看样子我可以从XPS入手,找一些突破,谢谢,十分感谢hanyu_cn。

  两个问题没有清楚:

  1)Ce结合能增加时,你有没有发现O1s结合能也增大,

  2)吸附物是什么?如果其电负性比氧的大;Ce结合能增加时很正常的,吸附诱导的电荷密度转移.另外你的化学位移值有多大,结合能用什么定标的?(因为你说没有吸附碳)。吸附和其它物理结构变化引起的结合能的变化较小,一般在0.4eV内。此外,如果有大量吸附产物,将直接影响CeO2的表面功函数,也能引起结合能的增加。

  在彻底搞清楚你的问题前,先得知道上述问题。

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  问题四:XPS实验结果如何分析?

  我做了xps的实验,但不会的分析,实验员给出的数据格式都是*.dat,其中一个是全谱,还有一个是碳的,其他的均为各掺杂元素的,请问这些文件我用什么可以打开,然后怎样进行处理分析,需要看哪本书能快速提高这方面的知识?(我做xps主要是想分析所做试样的结合键)

  答:XPSpeak软件,或者origin,建议看《电子能谱学(XPS-XAES-UPS)引论〉。

  请问那个碳的文件有什么用,我实验中没有这种元素啊。

  样品可能被含碳物质污染,一般都有碳峰。有时候以碳峰作为参考。

  请问我怎样可以知道每个峰处所对应的物质、元素?

  碳是用来定标的,就是以C的284.6或284.4为标准,与实验所得的碳进行比较,得到差值.其他元素的峰值。要加上或减去此差值.*.dat文件是用写字板打开,倒入origina软件.建议每次做实验之前,要先弄清楚实验的目的和可能的结果.

  可能要查XPS手册,其上有每一种元素所可能产生的峰(峰位置),一般作XPS的,都会有这本书C. D. Wagner, W. M. Riggs, L. E. Davis, et al., Handbook of X-ray photoelectron spectroscopy [M], (G. E. Muilenberg, editor) Perkin Elmer Corporation (Physical Electronics), 1979。或新版本。

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  问题五:如何将仅含两列数据的*.txt文件

  转化为XpsPeak4.1可载入的*.des文件

  我下载了XpsPeak4.1软件,但是我的XPS数据是*.txt格式,几乎只有数据。但是XpsPeak4.1软件载入不了(可载入*.des格式文件),所以就无法进行分峰处理。我用UltraEdit软件将*.txt格式载入,令存为*.des格式,但还是不行。我该怎么办呢?

  答:打开XpsPeak4.1软件,在上面窗口的data目录中,选中Import(ASCII),就可以载入*.txt数据了。

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  问题六:XPS怎么算表面元素含量

  自己完成了分峰,要算表面元素含量怎么办?有灵敏度因子/峰面积信息了,该用一个元素的总峰面积还是主峰面积?峰面积乘还是除灵敏度因子啊?

  答:Using one peak info for one element. For example, SiO2, you will get Si2s and Si2p, choose one for Si.

  但是一个元素如Si 2p也是两个峰,是不是用总峰面积啊,面积除灵敏度吗?

  答:就用所有分峰面积加和做总面积.呵呵.最近做了大量的XPS。

  我是根据资料文献刚做了初步的分峰啦,还谈不上计算和分析。按照penfee,我就把Co2P3/2和Co2p1/2一起加和来算啦,除上灵敏度因子归一法算。

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  问题七:元素相对含量的计算

  我做的XPS实验,想分析Mn3+和Mn4+的相对含量,其中它们的结合能和对应的面积均已知,但只知道Mn的校正因子,不知道Mn3+和Mn4+的校正因子,请各位帮忙告诉一下它们的校正因子以及具体该怎么算。另外,O1s的XPS图谱也显示了两种不同的O物种,假设分别是O1和O2,它们的结合能和对应的面积也均已知,怎样计算其相对含量。

  回答如下:

  同种元素不同价态的分子,不需要校正因子,可直接根据积分面积确定相对含量!不同元素间才会用到校正因子,但是其相对含量还是不能很准确的换算出来!

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  问题八:如何设置扫描参数和如何进行XPS分析

  现在想做Cu的XPS,可是怎么样的扫描参数和怎么样来分析都没有头绪,请各位高手帮帮忙吧!!

  答:你是做CuO的XPS吧?还有其他的氧化物吧?XPS主要是通过元素价态变化来说明问题的,还有峰形的变化,出峰位移。这些在表征相关书籍中都有介绍,还有相关文献中也有分析过程。基本上制样有两种,一是粉未直接粘在导电Cu胶带,很薄的一层就可以,一种是压片制成片状。就看你去做的时候他们的要求了。做的时候收集谱先获得全谱,看看有什么元素。再针对存在的元素进行高分辩谱的收集。需要根据谱的形状进行谱峰分解。

  XPS是做元素价态分析的,首先你要保证样品不受污染。相关的书籍你可以看一下固体表面化学方面的书籍。但一般这些书的理论都讲得很深,很难懂。我们研一下学期学过这门课,清华可以做,每小时200元左右。曹立礼老师在清华理化楼二楼,你可以去向他请教,他水平挺高,人也挺好。

  "怎么样的扫描参数和怎么样来分析",这些都不需要你来做,数据处理也有专门的软件如果你到中科大(合肥)作,都会帮你分析,分峰等一切处理!我在那做过很多样品,以前200块一个样,现在300,好像是去年或今年买了一新仪器,所以价格涨了,哈哈。Cu我也做过!具体到和你反应相关的分析,最简单的方法就是参照相关的文献进行分析,主要集中在价态以及结合能方面!!

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  问题九:XPS表征什么?

  各位做催化的老大,对于XPS的表征到底分析什么?哪位师兄师姐们可以给小弟讲讲啊?或者介绍点专业点的知识。谢谢了!

  答:找任何一本催化表征的书籍来看都讲的非常之详细,不需要这里问的。辛勤主编《固体催化剂研究方法》和《多相催化的研究方法》。

  可以多看些有关你做的方向的催化文献,特别是近几年的,上面基本都有XPS的表征知识,而且和你做的东东比较相近,这样比较直观,也能看懂一些。看书要有目的地去看,不能盲目,不然肯定看不懂。

  你应该是看催化反应前后,催化剂表面化合物变化情况把,例如,如果反应吸附了SO2,你应该从xps上看反应后是不是生成了SO4离子或者是亚硫酸根离子在origin中做出的图,要拷贝到Word 中,可以在Edit中选择copy page,然后在Word 中建一个文本框,点鼠标右键,复制即可。

  我们刚学过固体表面化学这门课,清华大学曹立礼老师讲的,他最近正准备出一本类似的表面科学的书,其中单独有一章讲XPS原理及应用,如果有问题可去向他请教,他在清化理化楼二楼,退休的老教授,水平很高。XPS主要用于分析化学物质的价态,其他复杂的可以用XAES伴峰谱图。分析,建议你先看一下他编的书。

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  问题十:XPS与EDX在分析表面元素方面有什么区别

  最近想做表面分析,但不知道用那个好一点,请高手指教!

  答:如XPS要高级一些,XPS不光可以分析出何种元素,什么含量,还可以知道该元素是何种价态,比如金属表面,可以知道它是否被氧化,生成物是什么;而EDX只能知道何种元素,各元素含量,看你需要选择用哪种,如果看看玩玩就选EDX吧,这个便宜不少。

  峰XPS一般采样深度为几个纳米,如果用角分辨XPS可以到十几个纳米,用深度剖析可以达到几百个纳米;一般EDX打入的深度只有零点几到几个微米。

  XPS主要是为了看元素价态,而EDS可以做全面元素分析,兼有扫描电镜的功能(可以看到电镜照片,不过稍微模糊一点)。

  xps除了看价态以外,还可以得出相应的成键情况,进而得出相应原子的电子云分布状况和杂化情况,这一点可以从很多文献中看到。edx是能量散射谱,它主要和扫描电镜一起使用,现在扫描电镜的分辨率都在3nm,所以可以看得很细,但能谱是一种半定量的分析手段,得到的数据不是很准,建议用xps。

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  问题十一:XPS研究中各种N的结合能

  请问是否有人熟悉各种N的结合能,比如我的产品中可能有RNH2、RCN、RCHNH以及它们与金属表面的配位等,它们的结合能好像都很近的,如何确定并给它们分峰?没有找到这方面的文献,不知是否有人有?

  答:请查一下下面的数据库,http://srdata.nist.gov/xps/elm_in_comp_res.asp?elm1=N 有很多与你的问题相关。这应该是最好的XPS数据库了。希望对你有用。最好的情况是XPS再辅助FTIR.结果会更可靠。

  其实,我就是根据FTIR的结果分析可能含有氰基、亚胺等的,所以我希望获得XPS结果的支持。但因为N含量很低,数据中噪音很大(不知是否和RAMAN一样,由脉冲引起的?)。数据通过origin中smooth处理后,在N的范围内看出来有好几个峰。

  另外,我总觉得NIST数据库也有不足。不加选择和适当验证的收录所有数据,有点让人无所适从,对于同一环境下的某元素它会给出很多不同数据,其实很多是矛盾的或者是有条件的。我觉得http://www.lasurface.com/database/elementxps.php也有不错之处,给出一个BE值和范围,它会给出一系列可能的物质。

  NIST数据库和Lasurface的数据 都是来自于发表的文献,不是他们自己获得的。基本上是一样的。你需要阅读相关的文献才能确定自己的答案。

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